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Description du produit
COMBI-FLOW
Débitmètres/régulateurs Massiques Thermiques et Régulateurs de Pression joint métal
Généralités
Les instruments de la série COMBI-FLOW se caractérisent par le fait que tous les modules sont soudés les uns aux autres. Ces soudures orbitales assurent une étanchéité parfaite au cours du temps. Cette série se distingue par une grande qualité d'état de surface des matériaux afin de répondre aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs et autres applications utilisant des gaz de grande pureté. Le bloc métallique de base est identique pour chaque module (sauf pour la vanne d'arrêt) et peut être monté en série grâce aux raccords types sous vide ou par soudure orbitale.
Caractéristiques
- Ultra propre, électropolie
- Soudure, connexion métal
- Assemblé en salle blanche
- Montage compacte
- Produit modulaire
- Zéro très stable (pas besoin de circuit de zéro automatique)
- Très grande précision et répétabilité
Modules disponibles
Débitmètre massique (F1/F2)
Pour les débits entre 0,2 ... 10 mln/min et 2 ... 100 ln/min équivalent N2.
Transmetteur de pression (P5/P6/P7)
Capteur de pression piezo-resistif pour des gammes de pression entre 6 ... 300 mbar et 0,2 ... 10 bar absolu ou relatif.
Filtre (M0/M1)
Filtre ultra pur 0,05 µm en PVDF ou filtre inox fritté 0,5, 2, 7 ou 15 µm
Vanne de régulation (C0/C1)
Normalement fermée ou ouverte pour régulation de débit ou de pression avec Kv max. 4,9 x 10-2.
Température maximale 70°C
Vanne d'arrêt (S0/S1)
Commandée en pression, normalement ouverte NO ou normalement fermée NC
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