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Description du produit
Filtres COMBI-FLOW
Généralités
De part leur construction, les débitmètres et régulateurs massiques pour gaz sont sensibles aux contaminations. Afin d'augmenter la MTBF (moyenne de temps de bon fonctionnement), il est important de s'assurer que les gaz traversant l'appareil soit propre. Les filtres COMBI-FLOW assurent ce rôle. Le filtre peut être changé sans démonter le module de base de la tuyauterie.
Types de filtres
Il existe deux types de filtres :
Filtre PVDF
Pour les applications semi-conduteurs avec un taux de rétention certifié à 0.003 mm pour les plus petites particules mesurées, et plus de 99.9999999% de suppression de toutes particules.
Filtres métal 316L
Pour les applications de filtrations courantes.
Sélection
Pour les gaz semicon utiliser du PVDF : la cartouche ne peut être nettoyée.
Pour les ultra-filtrations utiliser du PVDF.
Pour les autres applications utiliser les filtres métal 316L.
Si le gaz contient des particules relativement importantes, utiliser un pré-filtre.
Les cartouches métal 316L peuvent être nettoyées avec un solvant approprié.
En principe, il faut choisir la porosité la plus fine avec une faible ΔP ; de préférence éviter une ΔP supérieure à 250 voir 500 mbars, et une porosité plus grande que 5 µm.
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